第126章 改良方案
第126章改良方案
计划归计划,该拆的设备还是得拆。
不过康驰也不用把它拆得非常零散,只需要把几个模块给分开就行了。
反正这玩意拆了外壳,谁也不认不出是什么东西。
由于工作量比较大,康驰只能在东阳又多停留了一周,
同时在拆解休息的时候,他还抽空看了看常春光所的EUV设计图,把图纸都给吃透得差不多了。
在光刻机的EUV光源中,有两个相对成熟可靠的方案,即DPP和LPP方案。
这两个方案,其实原理都是差不多的,就是利用锡转换成等离子体的过程中,可以释放出极紫外光,
区别只是DPP是用电击锡来激活,LPP是用激光二次打击锡液激活。
按照华国的一贯风格,自然是啥都要试试,
所以目前这两个方案,分别由常春光所、魔都光所负责研发。
其中魔都光所的LPP方案,进展其实是最快的,据说功率已经达到了188W,转换效率为3.7%,基本能够进入实用化了。
但LPP方案中所需的脉冲大功率二氧化碳激光器,依然没有攻克,目前只有M国和岛国能够生产,和EUV光刻机一样有钱也买不到。
所以虽然阿斯麦的EUV光刻机,用的就是这个方案,算是给华国指明了方向,但因为专利壁垒和禁售,挑战反而更大。
反观DPP方案,则可以避开专利壁垒,同时它的前景也更大,因为它是直接将电能转化为等离子体能,光源结构简单,随着技术成熟相对容易提升功率,
如果能把同步辐射光源的加速器小型化,那么DPP方案也将会有更大的应用前景。
这也是康驰选择常春光所DPP方案的主要原因。
在吃透了常春光所的图纸,并分析出了他们目前遇到的困难和技术缺陷后,康驰又花了几天的时间,对这套方案进行了改良设计,然后把硬盘交给了陈海,让他安排人送到常春去。
当何永收到硬盘,得知康驰已经对方案完成了改良设计后,忍不住掏出手机,确认了一下日期。
“这才过了十天,你确定他把图纸看明白了?”
负责送图纸的赖庆雷摇了摇头:“抱歉,我只是个送图纸的,技术层面的东西我也不知道,不过我觉得康博士应该不至于开这种低级玩笑。”
“是吗?”何永冷笑道,“我怎么觉得他老爱开玩笑。”
接过硬盘后,何永也忍不住立刻回到办公室,好奇地打开里面的图纸,想看看康驰所谓的改良方案是真是假。
打开第一张整体结构图,何永一眼就看出,这和他们原本的设计有很大的区别。
所以,他真对设计图进行了改良?
而从消化图纸,到完成改良设计,他仅仅只用了十天?!
先不说改良的方案到底行不行,光是这个效率,就让何永感到有些难以置信。
短暂的惊讶过后,何永便把设计图放大,仔细分析起了里面的改变,眉头也逐渐开始皱了起来。
“磁场约束?”
看着包裹着两个电极的麻花状线条,何永总感觉似乎在哪里看过类似的设计结构……
没看出什么名堂的何永,试着根据康驰在整体结构图上的注解,找到了这个麻花状的详细分解图。
然后他顿时就瞪大了眼睛。
他终于知道自己在哪,看过类似的结构了。
这是……
仿星器!
这结构,太像可控核聚变的重要技术路线——仿星器的磁场环了!
开什么玩笑?!
我们这是在造EUV光源,不是搞核聚变的!
就算你把仿星器设计出来了,是凭我们就能造出来的吗?!
何永看到这张图的第一眼,只觉得这太离谱了,
但多看两眼之后,他很快就发现,它虽然像仿星器,但实际上却和仿星器还是有比较大的区别。
仿星器的设计,是个完美的闭环磁场,而这个显然是个开环,结构也相对简单很多。
何永又看了看这张图的技术说明,很快就理解了康驰这套改良方案,具体的原理是什么。
在DPP-EUV方案中,最大的问题,就是在电离锡的时候,会产生大量的锡碎屑,
这些碎屑温度极高,很容易腐蚀、污染电极和设备,
尤其是收集光线的反射镜,
一旦受损,收集光线的效率就会直线降低。
所以康驰就用了一个类似仿星器的磁约束原理,制造一股无形的‘风’,把这些电离过程中产生的锡碎屑,沿着设计好的磁场路线吹出去。
想法是很好,但这可能实现吗?
先不说这个强磁场能不能造出来,就算造出来了,这么强的磁场,会不会对设备的其它部件,造成干扰影响?
而且除了这个磁场清理碎屑的改良点,何永在接下来,还发现了康驰另外一个更疯狂的改良。
锡本来应该涂抹在电极上的,
但康驰直接在电极中间加了个喷嘴,把锡加热到2260度,变成气体喷出去!
原理其实和燃油发动机有点像,喷油嘴喷油,然后火花塞点火,
区别只是一个燃烧膨胀作功,一个电离发光。
这么做有个好处,就是能够解决重频放电的光源稳定性,同时很容易增大光源功率。
但这一切的前提,都是那个像仿星器的磁场设计,到底行不行。
如果这套磁场设计不行的话,锡气一喷,整个装置就毁了。
想到这里,何永立即召开了一场技术研讨会,直接在会议上公布了康驰的改良方案。
当看到康驰的方案,并听完何永的讲解后,整个会议室顿时就陷入了很长一段时间的沉默。
所有人都被这个大胆而疯狂的方案给震住了。
而何永也给了他们充足的时间,来消化这些信息。
过了足足三分钟,才终于有人开口问道:“这……能行吗?”
“我也不知道。”何永看了众人一眼,
“从理论上来说,这确实是一个方向,但具体能不能实现,得先对这个设计理论进行模拟验证……老廖,磁场这块你比较擅长,所以磁场分析就交给伱了。”
被点到名的廖远点了点头:“给我两天时间。”
何永随即又把目光,放在了另一位五十多岁的老者身上:“老许,你过来先仔细研究一下设计图,看看有多少把握造能造出来。”
随后何永便把位置让了出来。
老许对着电脑,研究了大概半个多小时的图纸,最后才点头道:“应该没太大问题。”
“这虽然看着像仿星器,但实际上它的要求没这么苛刻,仿星器需要控制的是核聚变,不但对磁力要求特别大,还得不能有丝毫的偏差,但这个只需要大概控制住磁场的走向,设备精度要求低一些,体积也不算大。”
何永听完顿时就放心了,
接下来,就等设计理论模拟验证的结果了。
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计划归计划,该拆的设备还是得拆。
不过康驰也不用把它拆得非常零散,只需要把几个模块给分开就行了。
反正这玩意拆了外壳,谁也不认不出是什么东西。
由于工作量比较大,康驰只能在东阳又多停留了一周,
同时在拆解休息的时候,他还抽空看了看常春光所的EUV设计图,把图纸都给吃透得差不多了。
在光刻机的EUV光源中,有两个相对成熟可靠的方案,即DPP和LPP方案。
这两个方案,其实原理都是差不多的,就是利用锡转换成等离子体的过程中,可以释放出极紫外光,
区别只是DPP是用电击锡来激活,LPP是用激光二次打击锡液激活。
按照华国的一贯风格,自然是啥都要试试,
所以目前这两个方案,分别由常春光所、魔都光所负责研发。
其中魔都光所的LPP方案,进展其实是最快的,据说功率已经达到了188W,转换效率为3.7%,基本能够进入实用化了。
但LPP方案中所需的脉冲大功率二氧化碳激光器,依然没有攻克,目前只有M国和岛国能够生产,和EUV光刻机一样有钱也买不到。
所以虽然阿斯麦的EUV光刻机,用的就是这个方案,算是给华国指明了方向,但因为专利壁垒和禁售,挑战反而更大。
反观DPP方案,则可以避开专利壁垒,同时它的前景也更大,因为它是直接将电能转化为等离子体能,光源结构简单,随着技术成熟相对容易提升功率,
如果能把同步辐射光源的加速器小型化,那么DPP方案也将会有更大的应用前景。
这也是康驰选择常春光所DPP方案的主要原因。
在吃透了常春光所的图纸,并分析出了他们目前遇到的困难和技术缺陷后,康驰又花了几天的时间,对这套方案进行了改良设计,然后把硬盘交给了陈海,让他安排人送到常春去。
当何永收到硬盘,得知康驰已经对方案完成了改良设计后,忍不住掏出手机,确认了一下日期。
“这才过了十天,你确定他把图纸看明白了?”
负责送图纸的赖庆雷摇了摇头:“抱歉,我只是个送图纸的,技术层面的东西我也不知道,不过我觉得康博士应该不至于开这种低级玩笑。”
“是吗?”何永冷笑道,“我怎么觉得他老爱开玩笑。”
接过硬盘后,何永也忍不住立刻回到办公室,好奇地打开里面的图纸,想看看康驰所谓的改良方案是真是假。
打开第一张整体结构图,何永一眼就看出,这和他们原本的设计有很大的区别。
所以,他真对设计图进行了改良?
而从消化图纸,到完成改良设计,他仅仅只用了十天?!
先不说改良的方案到底行不行,光是这个效率,就让何永感到有些难以置信。
短暂的惊讶过后,何永便把设计图放大,仔细分析起了里面的改变,眉头也逐渐开始皱了起来。
“磁场约束?”
看着包裹着两个电极的麻花状线条,何永总感觉似乎在哪里看过类似的设计结构……
没看出什么名堂的何永,试着根据康驰在整体结构图上的注解,找到了这个麻花状的详细分解图。
然后他顿时就瞪大了眼睛。
他终于知道自己在哪,看过类似的结构了。
这是……
仿星器!
这结构,太像可控核聚变的重要技术路线——仿星器的磁场环了!
开什么玩笑?!
我们这是在造EUV光源,不是搞核聚变的!
就算你把仿星器设计出来了,是凭我们就能造出来的吗?!
何永看到这张图的第一眼,只觉得这太离谱了,
但多看两眼之后,他很快就发现,它虽然像仿星器,但实际上却和仿星器还是有比较大的区别。
仿星器的设计,是个完美的闭环磁场,而这个显然是个开环,结构也相对简单很多。
何永又看了看这张图的技术说明,很快就理解了康驰这套改良方案,具体的原理是什么。
在DPP-EUV方案中,最大的问题,就是在电离锡的时候,会产生大量的锡碎屑,
这些碎屑温度极高,很容易腐蚀、污染电极和设备,
尤其是收集光线的反射镜,
一旦受损,收集光线的效率就会直线降低。
所以康驰就用了一个类似仿星器的磁约束原理,制造一股无形的‘风’,把这些电离过程中产生的锡碎屑,沿着设计好的磁场路线吹出去。
想法是很好,但这可能实现吗?
先不说这个强磁场能不能造出来,就算造出来了,这么强的磁场,会不会对设备的其它部件,造成干扰影响?
而且除了这个磁场清理碎屑的改良点,何永在接下来,还发现了康驰另外一个更疯狂的改良。
锡本来应该涂抹在电极上的,
但康驰直接在电极中间加了个喷嘴,把锡加热到2260度,变成气体喷出去!
原理其实和燃油发动机有点像,喷油嘴喷油,然后火花塞点火,
区别只是一个燃烧膨胀作功,一个电离发光。
这么做有个好处,就是能够解决重频放电的光源稳定性,同时很容易增大光源功率。
但这一切的前提,都是那个像仿星器的磁场设计,到底行不行。
如果这套磁场设计不行的话,锡气一喷,整个装置就毁了。
想到这里,何永立即召开了一场技术研讨会,直接在会议上公布了康驰的改良方案。
当看到康驰的方案,并听完何永的讲解后,整个会议室顿时就陷入了很长一段时间的沉默。
所有人都被这个大胆而疯狂的方案给震住了。
而何永也给了他们充足的时间,来消化这些信息。
过了足足三分钟,才终于有人开口问道:“这……能行吗?”
“我也不知道。”何永看了众人一眼,
“从理论上来说,这确实是一个方向,但具体能不能实现,得先对这个设计理论进行模拟验证……老廖,磁场这块你比较擅长,所以磁场分析就交给伱了。”
被点到名的廖远点了点头:“给我两天时间。”
何永随即又把目光,放在了另一位五十多岁的老者身上:“老许,你过来先仔细研究一下设计图,看看有多少把握造能造出来。”
随后何永便把位置让了出来。
老许对着电脑,研究了大概半个多小时的图纸,最后才点头道:“应该没太大问题。”
“这虽然看着像仿星器,但实际上它的要求没这么苛刻,仿星器需要控制的是核聚变,不但对磁力要求特别大,还得不能有丝毫的偏差,但这个只需要大概控制住磁场的走向,设备精度要求低一些,体积也不算大。”
何永听完顿时就放心了,
接下来,就等设计理论模拟验证的结果了。
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